行星齒輪傳動裝置的重量一般與齒輪的重量成正比，而齒輪的重量與其材料和熱處理硬度密切相關(guān)。由于行星齒輪減速機(jī)的特殊結(jié)構(gòu)，硬齒輪在市場上被廣泛使用。一般來說，淬硬齒輪是通過表面淬火、整體淬火、滲碳淬火和滲氮獲得的。

1.表面淬火

一般來說，表面淬火有高頻淬火和火焰淬火兩種方式。高頻淬火主要用于小型齒輪，火焰淬火通常用于大型齒輪

2.滲碳淬火

滲碳淬火承載能力比較大，但機(jī)加工工藝比較復(fù)雜。必須采用精加工工藝消除熱處理變形，以保證齒輪的精度

3. 氮化

采用滲氮可以保證輪齒在變形較小的情況下達(dá)到較高的齒面硬度和耐磨性。不能再進(jìn)行熱處理后的精加工，提高了承載能力。這對于不易磨齒的內(nèi)齒輪具有特殊意義。

4、嚙合齒輪的硬度組合

當(dāng)大小齒輪都有軟齒面時(shí)，小齒輪的齒面硬度應(yīng)高于大齒輪。當(dāng)兩個(gè)輪子都有硬齒面和高硬度時(shí)，兩個(gè)輪子的硬度是一樣的。

選擇好的行星齒輪減速機(jī)材料有利于提高齒輪減速機(jī)的承載能力和使用壽命。